| 特殊氣體供應設備 安裝銷售實績 | |||
|---|---|---|---|
| BSGS | GC / GR | VMB / VMP | GAS PANEL |
| 30 above | 180 above | 3,200 above | 15,000 above |
| 主要客戶 | 安裝概述 |
|---|---|
| 台積電(南京) | 氣體供應盤面(DP Panel)安裝達8,000盤以上 |
| 台積電(FAB12) | VMB備援系統建置達500台以上並持續進行安裝 |
| 聯華電子 | 8吋及12吋廠 GC/VMB合計銷售達2,000台以上 |
| 聯芯集成(廈門) | P1建廠及擴充VMB銷售安裝達1,000台以上 |
| 南亞科技 | 氣體系統擴建安裝BSGS / GC /VMB 達 120台 |
| 旺宏電子 | 擴建及相關氣體系統安裝GC / VMB 累計達 100台以上 |
| 世界先進 | C4F8轉換工程銷售安裝GR / VMB |
